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金融界2024年11月14日音书，国度常识产权局信息暴露，上海芯东来半导体科技有限公司肯求一项名为“高精度滑台组件及光刻机职责台”的专利，公开号CN 118938612 A，肯求日历为2024年10月。

专利纲目暴露，本发明提供了一种高精度滑台组件及光刻机职责台，高精度滑台组件包括基座、滑台、滑台运行部以及变嫌部；所述滑台用于承载晶圆载台；基座设有直线导轨，滑台安设于直线导轨，滑台运行部相连于滑台以运行滑台沿直线导轨通顺。变嫌部的第一端详连于滑台运行部，变嫌部的第二端动弹相连于滑台的一端，变嫌部大致在滑台运行部的运行下绕滑台的一端朝围聚基座或者远隔基座的标的动弹。大致幸免滑台在通顺经由中发生轻细抖动和摩擦，普及了滑台静态性能和滑台组件的使用寿命。

本文源自：金融界

作家：谍报员